Quick Search

In questa sezione troverete i lavori presentati alle Conferenze mondiali COMSOL. Le presentazioni descrivono ricerche e prodotti innovativi progettati con COMSOL Multiphysics da colleghi di tutto il mondo. I temi delle ricerche presentate abbracciano un'ampia gamma di settori produttivi e aree applicative, in ambito elettrico, meccanico, fluidodinamico e chimico. Lo strumento di Ricerca Rapida vi permetterà di trovare le presentazioni che si riferiscono all'area di vostro interesse.

Parameter Extraction and Support-Loss in MEMS Resonators

Peter Steeneken
Project Leader
RF MEMS Research Group
NXP Semiconductors
Eindhoven, The Netherlands

In this paper it is shown how the equivalent circuit parameters of a MEMS resonator can be simply obtained from an eigenfrequency simulation. Additionally, it is demonstrated that the Q-factor as a result of support losses in a MEMS resonator can be determined using a matched boundary layer. The method is applied to calculate the frequency dependent admittance of a diamond disk resonator. Results ...