Molecular Flow Module

Per modellare il flusso di gas a bassa pressione in sistemi sottovuoto

Molecular Flow Module

In un impiantatore ionico, la densità media delle molecole di degassamento lungo il percorso del fascio viene utilizzata come cifra di merito per valutare il progetto. Deve essere calcolata come funzione dell'angolo del wafer, che presenta una rotazione attorno a un asse.

Modellazione accurata di flussi di gas a bassa pressione e bassa velocità

Il Molecular Flow Module offre funzionalità di simulazione prima non disponibili per la modellazione accurata di flussi gassosi a bassa pressione e bassa velocità in geometrie complesse. È ideale per la simulazione di sistemi sottovuoto, utilizzati ad esempio nella lavorazione dei semiconduttori, in acceleratori di particelle e spettrometri di massa, ma consente anche di affrontare problematiche tipiche di applicazioni con piccoli canali (esplorazione di giacimenti di gas da argille e flusso in materiali nanoporosi).

Il Molecular Flow Module utilizza un metodo del coefficiente angolare adattato per aumentarne la velocità di calcolo al fine di simulare i flussi stazionari di molecole libere. È possibile modellare flussi molecolari isotermi e non isotermi e calcolare automaticamente il contributo del flusso termico specifico apportato dalle molecole di gas. Il metodo delle velocità discrete (discrete velocity method) incluso nel modulo consente di simulare i flussi nel regime di di transizione.

Due metodi per modellare flussi molecolari liberi e transitori

Il Molecular Flow Module offre due metodi alternativi, per generare soluzioni con flussi a bassa velocità e bassa pressione in modo accurato e gestibile. Sono disponibili due interfacce fisiche specifiche, configurate per accettare i dati di input del modello tramite l'interfaccia grafica utente (GUI) per specificare un insieme di equazioni:

Differential Pumping

Molecular Flow in an Ion Implant Vacuum System

Molecular Flow Through a Microcapillary

Rotating Plate in a Unidirectional Molecular Flow

Adsorption and Desorption of Water in a Load Lock Vacuum System

Outgassing Pipes

Molecular Flow in an RF Coupler